재료공학 기초실험 - 면저항 측정(measurement) 실험
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작성일 23-02-14 04:05
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저항을 계산하는데 저항율보다 훨씬 쉽고 유용하게 사용된다.
그것의 저항 R = ( ρ / T )( L / W )인데 여기서 ( ρ / T )를 면저항 Rs라고 한다. 두이 때 전체 길이를 폭으로 나눈 값을 면 개수(Sheet number)라고 한다. 4개의 point 중 바깥 두 곳에 일정전류를 흐르게 한 후 안쪽의 point점의 전압강하를 측정(測定) 하여 이 값을 토대로 저항값을 알아내는 방법으로, 안쪽 point 점의 전압을 측정(測定) 할 때 접촉저항의 influence(영향)을 별로 받지 않는다. 이것을 다음과 같은 정의(定義)에 의해 다시 정리(整理) 해 보자. 먼저 얇은 박막의 두께를 T라 하고 폭은 W, 박막의 길이를 L이라 할 때 거기에 흐르는 전류를 I라 한다 하고 위의 저항(R)의 식에 대입해 보면 다음과 같게 된다된다. 측정(測定) 하려는 금속의 두께와 point들간의 거리의 크기에 따라 계산방법이 달라진다. 그러므로 다시 말하면 전체 저항은 면저항과 Sheet number만 알면 쉽게 계산할 수 있게 된다된다. 2. 이론 면저항은 얇은 박막의 저항을 측정하는 것인데 박막이라 하는 것은 두께가 0.1μm - 수μm의 두께를 가지는 막을 박막이라 한다.
면저항은 얇은 박막의 저항을 측정(measurement)하는 것인데 박막이라 하는 것은 두께가 0.1μm - 수μm의 두께를 가지는 막을 박막이라 한다.
2. 이론
재료공학 기초실험,면저항 측정 실험
옴의 법칙에서 V = IR 이다.
재료공학 기초실험 - 면저항 측정(measurement) 실험
* 측정(測定) 시 고려사항 : thin film의 크기가 무한대일 경우 이 값이 imfinite 하고 thin film의 두께에 따라 값의 차이가 난다는 점에 주의해야 한다. R =ρ(길이/단면적)이다.
1. 실험목적 : 면저항의 개념을 알고, 직접 면저항을 측정해봄으로써 면저항을 측정하는 이유와 면저항을 줄일 수 있는 방법을 연구한다.
설명
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① Van der Pauws method일반적으로 가장 많이 쓰이는 방법으로 4-Point Probe, 4 Probe head, 4PP, FPP, 4탐침 등으로 불리운다.
다음으로 면저항을 측정(測定) 하는 두 가지 방법을 紹介(소개)하도록 하겠다. 여기서, ρ는 비저항인데 그러므로 면 저항은 얇은 박막의 두께에 대한 비저항을 가르키는 것이다. 저항을 계산하는데 저항율보다 훨씬 쉽고 유용하게 사용된다
순서
다.
1. 실험목적 : 면저항의 定義(정의) 을 알고, 직접 면저항을 측정(measurement)해봄으로써 면저항을 측정(measurement)하는 이유와 면저항을 줄일 수 있는 방법을 연구한다.
