바이오나노학부 나노 Engineeringtest(실험) 레포트(report) spin coating
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작성일 24-04-26 16:57
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PMMA(Poly Methyl Methacrylate)를 농도 및 회전속도에 따라 분류하여 Thickness가 어떻게 달라지는 지 알아보았다. 전방위로 뻗어나간 material이 wafer를 coating한다.
두께를 측정(測定) 하는 방법에는 UV/Visible Spectroscopy와 α-step 2가지로 나눌 수 있다아
첫째 UV/Visible Spectroscopy 는 유/무기 화합물의 정량, 임상實驗(실험) 등에 널리 쓰이는 analysis(분석) 기기이며, 화합물의 구조를 밝히는데도 어느 정도의 정보를 제공하지만, 구조의 파악보다는…(drop)
① ②
3. Materials and Method.
①슬라이드 글라스 2개를 다이아몬드 칼을 이용하여 8조각으로 나눈다. 이번 實驗(실험)에서 조건은 1~4까지는 속도를 변수로 잡았다.
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나노 공학實驗(실험) 리포트
Spin Coating
바이오나노학부
1. Introduction
-Spin coating은 전자 제품 소자에 많이 사용이 된다 Coating할 material을 Wafer위에 떨어뜨리고 고속으로 회전을 시키면 nm단위로 얇게 펴지면서 coating이 된다 이번 實驗(실험)에서는 Wafer을 사용하지 않고 슬라이드 글라스를 사용했다.2. 實驗(실험) theory(이론)
-Spin coating의 원리는 원심력이다. 번호순서대로 4%, 6%, 8%, 10다.
