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[태양광 특집] 폴리실리콘생산공정

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작성일 23-03-08 23:31

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TCS-지멘스법을 사용해 정크타입 폴리실리콘을 생산하기 위해서는 먼저 약 98∼99.5% 순도의 메탈실리콘(MG-Si)과 고순도 염화수소(HCI)와 reaction 시킨다.

[태양광 특집] 폴리실리콘생산공정

설명
　TCS와 수소를 고온에서 reaction 시키면 흡열reaction 을 통해 TCS의 분자고리가 깨지고 TCS에 포함된 실리콘 분자들은 reaction 기 내부의 실리콘 파일먼트에 석출된다된다.레포트 > 기타
　실리콘의 석출이 완료되면 reaction 을 종료하고 reaction 기에서 실리콘 로드를 빼내 정크형태로 분쇄하면 폴리실리콘이 완성된다된다. 그러면 트리콜로실란(TCS), 데클로실란(DCS), 테트라콜로실란(STC) 등이 생산되며 증류과정을 통해 고순도의 TCS를 다른 부산물로부터 분리한다. 공정 reaction 시에 생성되는 부산물은 분리돼 각 공정으로 재회수 된다된다.

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[태양광 특집] 폴리실리콘생산공정

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[태양광 특집] 폴리실리콘생산공정

함봉균기자 hbkone@etnews.co.kr

다. 이 공정의(定義) 마지막 생산물인 고순도 TCS에는 약 20% 실리콘이 포함돼 다음 공정인 후공정으로 공급된다된다.

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